電子、光學精密制造生產車間作為對生產環境最為嚴苛的制造工業大類,涵蓋了半導體芯片(晶圓)、3C鋰電池、pack、CCL電路基材覆銅板、PCB印制電路板、液晶屏及LED等各產業領域。由于電子光學產品在制造、生產過程中對室內空氣環境和品質的要求極為嚴格,對控制空間內的微粒和浮塵、環境的溫濕度、新鮮空氣量、噪聲、威震、防靜電等參數都作出了嚴格的規定。以保證產品的精確度和合格率。所以除了智能化生產設備和人員管理因素以外,電子光學精密生產車間的建設就肩負著把控產品質量的重大責任。
例如在半導體集成電路生產的光刻工序中,大型潔凈廠房中一般選用微環境,把加工工藝核心區隔離,在微環境的隔離區內做到所規定的空氣潔凈度等級和環境控制規定(相對溫度、相對濕度、壓力,十級、百級、千級潔凈區),以保障作業區域內產品免被污染。
以光電精密生產制造產業中萬級潔凈車間為例:
設計依據:
1、《潔凈廠房設計規范》(GB50073-2013);
2、《電子工業沽凈廠房設計規范》 GB50472—2008
3、《沽凈廠房施工與驗收規范》 GB50591—2010
4、《采暖通風與空氣調節設計規范》(GBJ19-87);
5、《通風與空調工程施工及驗收規范》(GB50243-97);
6、《潔凈室施工及驗收規范》(GB50591-2010);
7、《金屬面巖棉、礦渣巖棉夾芯板》 JC/T869—2000
8、《建筑設計防火規范》 GB50016—2010
9、《潔凈廠房建筑構造》 08J907
以某公司提供的平面布置圖等有關技術參數要求(設計參數):
1、萬級潔凈車間溫度要求20℃~25℃
2、濕度要求45%~65%
3、潔凈要求10000級
乙方設計參數指標為:(面積不同、室內人員配置不同等,參數指標也不同,如下僅供參考)
1、潔凈室內的噪聲級(空態):不應大于65dB(A)。
2、潔凈室垂直流潔凈室滿布比不應小于60%,水平單向流潔凈室不應小于40%,否則就是局部單向流了。
3、潔凈室與室外的靜壓差不應小于10Pa,不同空氣潔凈度的潔凈區與非潔凈區之間的靜壓差不應小于5Pa 。
4、潔凈室內的新鮮空氣量應取下列二項中的最大值:補償室內排風量和保持室內正壓值所需的新鮮空氣量之和。
5、保證供給潔凈室內每人每小時的新鮮空氣量不小于40m3。
達到既定環境潔凈度是通過各種手段共同完成的,平面設計方案、裝修材料 、系統建設中的通排風系統、暖通空調系統、凈化設備儀器等環節共同為之服務。
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