2025-11-10
半導(dǎo)體潔凈室空調(diào)控制系統(tǒng)設(shè)計(jì)需遵循國(guó)際半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)協(xié)會(huì)標(biāo)準(zhǔn)及《電子工業(yè)潔凈廠房設(shè)計(jì)規(guī)范》(GB50472)。系統(tǒng)設(shè)計(jì)應(yīng)以工藝需求為導(dǎo)向,綜合考慮環(huán)境參數(shù)控制精度、系統(tǒng)可靠性及運(yùn)行能耗等關(guān)鍵因素。
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半導(dǎo)體潔凈室











